Индуктивные источники высокоплотной плазмы и их технологические применения. Берлин Е.В., Григорьев В.Ю., Сейдман Л.А. продажа, цена в Минске
| Код товара: 5333353 | Купили более 10 разВес867 г. | Единица измеренияшт | Количество страниц464 |
Количество товара в упаковке1 | Международный стандартный книжный номер978-5-94836-519-0 | Минимальная партия1 |
Объем продукта3 | Объем упаковки3.000 | Размеры упаковки25 см × 20 см × 6 см |
За последнее десятилетие источники ICP нашли широкое промышленное применение, о котором появилось большое количество новой информации. Поэтому назрела необходимость составления обзора, цель которого — систематизация основных экспериментальных результатов разработки и применения источников ICP. В книге приведено описание принципов действия, особенностей и преимуществ источников ICP и рассмотрены многочисленные варианты конструкций современных источников ICP. Приведены также примеры технологических применений описываемых источников для нанесения тонких пленок: в процессах PVD и PECVD. И кроме того, описано формирование плазмохимическим травлением трёхмерных структур в различных материалах и двумерных структур в тонких пленках и связанное с такой обработкой существенное изменение свойств поверхностей различных материалов, в особенности полупроводников.
Таким образом, настоящая книга представляет собой подробное справочное руководство по конструкциям и применению источников ICP. Книга рассчитана на студентов, аспирантов, конструкторов нового технологического оборудования, использующего источники ICP, и технологов, работающих на таком оборудовании. Конструкторы найдут в ней обзор способов достижения высоких параметров источников ICP, а технологи ознакомятся с широким спектром их применения и полученных с их помощью достижений. Она также будет полезна в качестве учебного пособия для студентов старших курсов и аспирантов соответствующих специализаций.
Вес | 867 г. |
---|---|
Единица измерения | шт |
Количество страниц | 464 |
Количество товара в упаковке | 1 |
Международный стандартный книжный номер | 978-5-94836-519-0 |
Минимальная партия | 1 |
Объем продукта | 3 |
Объем упаковки | 3.000 |
Размеры упаковки | 25 см × 20 см × 6 см |
Страна | Россия |
Товар партнёра | Да |
Гарантийный талон | Да |
Дата изготовления / Срок службы (годности) | 01.2024 / 36 мес |
Производитель | «Скипфайр Лимитед» Романов, 2, Тлейс Тауер, 6 этаж, офис 601, P.C.1070, Никосия, Кипр / "Skipfire LTD" Romanou, 2, Tlais Tower, 6th floor, flat/office 601, P.C.1070, Nicosia, Cyprus |
Импотрер в РБ | ООО "ТД Комплект", 220103 г. Минск, ул. Кнорина, дом 50 , к.302А |
Автор | Берлин Евгений Владмирови; Сейдман Лев Александрович |
---|---|
Год издания | 2018 |
Набор | Нет |
Тематика книги | Технические науки |
Тип обложки | Твёрдый переплёт |